羅茨泵的結(jié)構(gòu)在泵腔內(nèi),有二個(gè)“ 8 ”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,由傳動(dòng)比為 1 的一對(duì)齒輪帶動(dòng)做彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故中、高真空羅茨泵需要前級(jí)泵。因此,羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的極限真空度。
由于轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn),被抽氣體從泵進(jìn)氣口吸入到下轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間 V0 內(nèi),吸氣后 V0 空間是全封閉狀態(tài)。隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng),封閉的 V0 空間與排氣口相通,由于排氣側(cè)氣體壓力較高,引起一部分氣體反沖過來,使 V0 空間內(nèi)的氣體壓力突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí), V0 空間內(nèi)原來封入的氣體連同反沖的氣體一起被排向泵外。這時(shí),上轉(zhuǎn)子又從泵入口封入 V0 體積的氣體。由于泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),使兩個(gè)轉(zhuǎn)子不停地形成封閉空間 V0 又不停地將封閉空間璣內(nèi)的氣體排出泵外,從而實(shí)現(xiàn)了抽氣的目的。